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MICRONIX USA社製品

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MICRONIX

米国 MICRONIX USA 社は、ナノメータ精度の小型ステージの専門メーカです。2006年に設立され、独国 MICOS 社 ( 現 PI・miCos 社 )の米国での営業と小型ステージの設計・製造を担って来ました。2012年、MICOS社から独立し、NASAの火星探査機搭載や、米国のほとんど全ての加速器への製品納入実績を持つ小型ステージの製造販売をアメリカで始めました。

製造しているのは、ピエゾモータステージ、リニアモータステージ、ステッピングモータステージの3種類です。

ピエゾステージは、レゾリューションが細かく、エンコーダ付で、10-9 Torrまでの超高真空、4Kまでの低温、非磁性のアプリケーション(最大102㎜トラベル)も可能ですが、スピードはリニアモータステージの方が速く、Blocking Forceはステッピングモータステージの方が大きく、価格も安くなっています。

サイズ、材質、スペック、耐放射線対応、クリーンルーム対応等、お客様のご要望に合わせた特注対応も可能です。

真空、低温、非磁性の仕様の詳細はこちらへ⇒

小型ステージ

MICRONIX USA社
■ Xステージ、XYステージ、回転ステージmx_pps20_100
■ ストローク: 4 mm 〜 300 mmnew
■ ステージサイズ: 最小 12 x 12 mm
■ Load: max 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 2 N
■ 最大移動速度: 〜 10 mm / sec
■ 分解能: 1 nm 〜 50 nm
■ XY, XZ, XYZアッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 Torrまでの真空、4 K までの低温、非磁性(最大102㎜トラベル)対応
■ 耐放射線対応のステージについてはお問い合わせ下さい。
MICRONIX USA
mx_pps28lm_100
■ リニアモータステージ
■ ストローク: 11 mm 〜 300mmnew
■ ステージサイズ: 最小 33 x 37.3 mm
■ Load: max 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : max 10 N
■ 最大移動速度: 100 mm / sec
■ 分解能: 2 nm 〜 10 nm
MICRONIX USA
■ ステッピングモータステージ & アクチュエータmx_pps28sm_100
■ X軸ステージ、Z軸ステージ
■ ストローク: 10 mm 〜 300 mmnew
■ ステージサイズ: 最小 20 x 20 mm
■ Load: max 20 kg ( 200 N @ horizontal orientation)new
■ Blocking force : max 50 N
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ 分解能: 50 nm 〜 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZアッセンブリ可能
■ 10-9 Torrまでの真空対応

コントローラー

MICRONIX USA
mx_mmc100_100
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 2 nm
■ デジタル & アナログ制御
■ Windows GUI、DLL、LabVIEW VI 対応
MICRONIX USA
mx_mmc100_100
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ デジタル & アナログ制御
■ Windows GUI、DLL、LabVIEW VI 対応

お気軽に御問合せください。 TEL 03-6868-0848 営業時間 9:00 - 18:00 (土・日・祝日除く)

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