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Piezo Stage|ピエゾステージ 高精度・小型タイプ

Piezo Stage|ピエゾ ステージ 高精度・小型タイプ

Piezo Stage|ピエゾステージ:高精度・小型タイプ (MICRONIX USA社製)は、小型で、高分解能なPiezo ステージです。 X軸ステージ、XYステージ、回転ステージをご用意しています。

エンコーダ付で、10-9 Torrまでの超高真空、4Kまでの低温、非磁性のアプリケーション(最大102㎜トラベル)も対応可能です。

通常品のステージ本体はアルミニウム、ベアリングはスチールですが、その他の材料(ステンレス、チタン等)での特注も可能です。

*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。

真空、低温、非磁性の仕様の詳細はこちらへ⇒

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PP-12

MICRONIX USA

PP-12

スチール製 ボールスライド
■ ストローク: 4 mm
■ ステージサイズ: 12 x 12mm, 厚さ7mm
■ Load: 0.5 kg ( 5 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ 10-9 Torrまでの真空対応

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PPS-20

MICRONIX USA

■ スチール製 クロスローラベアリングPPS-20
■ ストローク: 12, 18, 26, 38, 51 mm
■ ステージサイズ: 最小 20 x 20 mm, 厚さ 13mm
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度:2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 2 nm ( 20 nm @ 4K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 Torrまでの真空、4 K までの低温、非磁性(最大51㎜トラベル)対応
■ 耐放射線対応のステージについてはお問い合わせ下さい。

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PPS-28

MICRONIX USA

■ スチール製 クロスローラベアリングPPS-28
■ ストローク: 26, 51, 76, 102 mm
■ ステージサイズ: 最小 28 x 45 mm, 厚さ 15mm
■ Load: 5 kg ( 5 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 2 nm ( 20 nm @ 4K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 Torrまでの真空、 4 Kまでの低温、非磁性(最大102㎜トラベル)対応
■ 耐放射線対応のステージについてはお問い合わせ下さい。

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PPS-60 

MICRONIX USA

■ スチール製 ボールベアリングPPS-60
■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm
■ ステージサイズ: 最大 69 x 392 mm, 厚さ 30mm
■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 1.2 nm ( 20 nm @ 4K )
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ エンコーダ付で、10-9 Torrまでの真空、4 K までの低温、非磁性対応
■ 耐放射線対応のステージについてはお問い合わせ下さい。

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PPX-32

MICRONIX USA

ppx-32■ XYアッセンブリ、 ボールスライド
■ ストローク: 18 x 18 mm
■ ステージサイズ: 32 x 32 mm, 厚さ 14 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 2 N
■ 最大移動速度: 2 ( MMC-100 使用時 ), 10 mm / sec ( MMC-110 使用時 )
■ オープンループ分解能: 1 nm
■ クローズドループ分解能: 10 nm
■ 10-9 Torrまでの真空対応

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PR-20

MICRONIX USA

■ 回転ステージ、 3mmアパーチャ付pr-20
■ 360度回転
■ ステージサイズ: 20 x 20.2 mm , 厚さ 12 mm
■ Load: 0.5 kg ( 5 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度:15 [°/s](MMC-100), 75 [°/s] (MMC-110)
■ オープンループ分解能: 500 μ°
■ クローズドループ分解能: 500 μ°
■ 10-9 Torrまでの真空、非磁性対応

Piezo Stage|ピエゾ ステージ: PR-32

MICRONIX USA

■ 回転ステージ、 0.5インチアパーチャ付pr-32
■ 360度回転
■ ステージサイズ: 32 x 36.5 mm , 厚さ 16.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度:6 [°/s](MMC-100), 30 [°/s](MMC-110)
■ オープンループ分解能: 3.6 μ°
■ クローズドループ分解能: 4.4 μ°
■ 10-9 Torrまでの真空対応

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