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ステッピングモーター ステージ|Stepping Motor ステージ

ステッピングモーター ステージ|Stepping Motor ステージ

ステッピングモータステージ|Stepping Motor ステージ(MICRONIX USA社製)は、小型で、低価格なステージです。X軸ステージ、Z軸ステージ、アクチュエータをご用意しています。

10-6 Torrまでの真空に対応致します。

*モデル名をクリックすると、詳細仕様と図面等が記載されたメーカサイトへジャンプします。

真空仕様の詳細はこちらへ⇒

MICRONIX USA
mx_pps20sm_100
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 12, 18, 26, 38, 51 mm
■ ステージサイズ: 最小 20 x 20 mm, 厚さ 13mm
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation)
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 4 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 100 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 Torrまでの真空対応
 
MICRONIX USA
mx_pps28sm_100-1
■ スチール製 クロスローラベアリング
■ ストローク: 26, 35, 51, 76, 102 mm
■ ステージサイズ: 最小 28 x 45 mm, 厚さ 15mm
■ Load: 5 kg ( 50 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 4 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 100 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 Torrまでの真空対応
MICRONIX USA
mx_pps60_100
■ スチール製 ボールベアリング
■ ストローク: 25, 50, 100, 200, 300 mm
■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )
■ 10-6 Torrまでの真空対応
mx_vt21s_100
■ ボールスライド
■ ストローク: 10 mm
■ ステージサイズ: 22 x 24 mm, 厚さ20.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: ±500 nm
■ クローズドループ分解能: ±50 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 Torrまでの真空対応
MICRONIX USA
mx_vt21l_100
■ ボールスライド
■ ストローク: 26 mm
■ ステージサイズ: 22 x 46 mm, 厚さ20.6 mm
■ Load: 1 kg ( 10 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 10 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 Torrまでの真空対応
MICRONIX USA
mx_vt50l_100
■ ボールベアリング ( クロスローラベアリングオプション )
■ ストローク: 55, 100, 200, 300 mm
■ ステージサイズ: 最小214.2 x 61.7 mm, 厚さ 39.8 mm
■ Load: 20 kg ( 200 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 50 N
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ XY, XZ, XYZ アッセンブリ可能 ( ES-50 Z軸ステージも使用可 )
■ 10-6 Torrまでの真空対応
MICRONIX USA
mx_es50_100
■ Z軸ステージ
■ ボールスライド
■ ストローク: 10 mm
■ ステージサイズ: 41 x 49 mm, 厚さ最小 41 mm
■ Load: 2 kg ( 20 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 5 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 50 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ 10-6 Torrまでの真空にも対応
mx_pzs90l_100
MICRONIX USA
■ Z軸ステージ
■ スチール製 クロスローラーベアリング
■ ストローク: 35 mm
■ ステージサイズ: 90 x 96 mm, 厚さ最小 90.5 mm
■ Load: 15 kg ( 150 N @ horizontal orientation )
■ Blocking force : 75 N
■ 最大移動速度: 10 mm / sec
■ オープンループ分解能: 500 nm
■ クローズドループ分解能: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ PPS-60, VT50Lとあわせて XZ, XYZ アッセンブリ可能
■ 10-6 Torrまでの真空にも対応
MICRONIX USA
mx_mp21_100
■ アクチュエータ
■ ストローク: 12, 25 mm
■ サイズ: 20.2 x 23.2 mm, 長さ最小 52.8 mm
■ Force: 40 N
■ 最大移動速度: 5 mm / sec
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ 10-6 Torrまでの真空対応
MICRONIX USA
mx_mpa20_100
■ 超高真空用アクチュエータ
■ フィードスルーオプション
■ ストローク: 12 mm
■ サイズ: 33 mm径, 長さ最小 176 mm
■ Force: 100 N
■ オープンループ分解能: 100 nm
■ メカニカル リミットスイッチ付
■ 10-9 Torrまでの真空対応

コントローラについてはこちらをご覧下さい。⇒

スピードが必要な場合はリニアステージをご覧下さい。⇒
分解能 が必要な場合はピエゾモータステージをご覧下さい。⇒

価格等営業部よりご回答申し上げますのでお気軽にお問い合わせください。

最終更新日2014年11月17日

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